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质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念

时间:2020-09-09浏览量:216

     质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,若压差低于最低值(0.1 MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于最高值(0.3MPa),有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定。
  部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源,气压很低,用普通MFC,不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明,定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC,这时MFC的工作压差范围,也会变小。注意使用挥发性液体蒸发汽时,不能让汽化物在MFC中结露,结露会影响MFC的正常工作。为了防止结露,可以对管路和MFC适当加温,但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上,需要特殊购买高温MFC产品。

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